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2021-03-03感應(yīng)加熱在半導(dǎo)體提純方面的應(yīng)用簡介

高頻感應(yīng)加熱可應(yīng)用在半導(dǎo)體加工方面，如區(qū)域熔煉（提純半導(dǎo)體）和外延（使襯底硅片上生成一層單晶硅）等，運用頻率多為300KHz----3MHz 1. 硅是在高頻感應(yīng)加熱電爐中停止提純處置的，此時，硅被凝結(jié)并重新成型成為單晶硅。 2. 將該單晶硅研磨成具有···...